VPF::Книги по плазмохимической технологии

Cr@$h

Дата 30.8.2006, 21:48 (ссылка)

(нет голосов)

Загрузка ...

Исследователь

Профиль
Группа: Участник Клуба
Сообщений: 1693
Регистрация: 3.4.2005
Где: Санкт-Петербург, Россия

Репутация: 2
Всего: 41

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов ; [редкол.: В. М. Пролейко, В. М. Вальков, Б. Ф. Высоцкий, Г. Г. Горбунова, В. И. Иванов и др.] .— Москва : Радио и связь, 1983 .— 126 с. : ил .— (Массовая б-ка инженера "Электроника") .— Редкол. указ. на обороте тит. л. — Библиогр.: с. 121-125
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев .— Москва : Энергоатомиздат, 1987 .— 264 с. : ил .— Библиогр.: с. 252-260.
Плазменная технология в производстве СБИС : Пер.с англ. / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс и др. ; Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна .— Москва : Мир, 1987 .— 469 с. : ил .— Доп. тит.л. на англ. яз. — Библиогр. в конце гл.
Ионно-плазменная обработка материалов / Г.Ф. Ивановский, В.И. Петров .— Москва : Радио и связь, 1986 .— 232 с. : ил. — Библиогр.: с. 226-231.
Низкотемпературная плазма / Под ред. М.Ф. Жуков .— Новосибирск : Наука, 1990.
Том 4: Плазмохимическая технология : / Под ред. В.Д. Пархоменко; Под ред. Ю.Д. Третьяков .— 1991 .— 391 с. — .— ISBN 5-02-029300-8.

0 Пользователей читают эту тему (0 Гостей и 0 Скрытых Пользователей)
0 Пользователей:
« Предыдущая тема \| Разыскивается \| Следующая тема »